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마그넷MAGNETRON

INFORMATION
- Magnetron은 Sputtering시 Target을 식각하는 플라즈마를 Target 위에 균일하게 형성시켜주는 역할을 하는 요소부품 입니다.
- 다양한 형상과 크기의 magnetron의 설계 및 제작이 가능하며, Planar Cathode및 Rotary Cathode에 사용되는 magnetron를 모두 양산하고 있습니다.